Loftburðarkerfi eru mikið notuð íofur nákvæmni búnaðurvegna þess að þeir veita næstum núningslausa hreyfingu með mjög mikilli staðsetningarnákvæmni.
Til að ná nanómetra-jafnvægi hreyfistöðugleika, krefjast loftburðarkerfis ofurstöðugan byggingarpall.
Nákvæmni granít er eitt mest notaða efnið fyrir loftburðarvélar.
Hvað er loftburðarkerfi?
Loftburðarkerfi notar þunnt lag af þrýstilofti til að skapa núningslausa hreyfingu milli yfirborðs.
Loftlegir eru almennt notaðar í:
- Hálfleiðaraþrep
- Ljósmælingakerfi
- Nákvæmar hreyfingarpallar
- Laser staðsetningarbúnaður
- Ofur nákvæm CNC kerfi
Þessi forrit krefjast afar stöðugs burðarvirkis.
Af hverju granít er tilvalið fyrir loftburðarvirki
Frábær Flatness
Nákvæmt granít getur náð ofurhári yfirborðssléttu sem krafist er fyrir loftburðarhreyfingu.
Dæmigerð flatleiki:
|
Forskrift |
Dæmigert gildi |
|
Flatleiki |
2μm/1000mm |
|
Yfirborðsfrágangur |
Ra 0,4 |
|
Hliðstæður |
3μm |
Frábær titringsdempun
Granít gleypir titring betur en mörg málmefni.
Þetta bætir:
- Sléttur hreyfingar
- Endurtekningarhæfni staðsetningar
- Yfirborðsgæði
- Stöðugleiki í mælingum
Hitastöðugleiki
Granít hefur litla varmaþenslu, sem hjálpar til við að viðhalda nákvæmni staðsetningar við hitabreytingar.
Þetta er mikilvægt fyrir:
- Hálfleiðara skoðunarkerfi
- Interferometers
- Optísk jöfnunarkerfi
Umsóknir umGranít loftburðarpallar
|
Iðnaður |
Umsókn |
|
Hálfleiðari |
Staðsetningarstig fyrir oblátur |
|
Ljósfræði |
Optískur jöfnunarvettvangur |
|
Mælifræði |
Nákvæmni mælikerfi |
|
Laser búnaður |
Staðsetning hreyfingar |
|
Nákvæm sjálfvirkni |
Ofur nákvæmni stig |
Af hverju að velja UNPARALLELED®
UNPARALLELED® framleiðir nákvæmar loftburðarvirki úr granít fyrir háþróaða iðnaðarnotkun.
Hæfni okkar felur í sér:
- Stór nákvæm granítvinnsla
- Loftlagssamhæfð flatleiki
- Nákvæm lapping tækni
- Ofur nákvæm samsetning
- Flókin byggingasamþætting
Algengar spurningar
Af hverju eru granítbyggingar notaðar í loftburðarkerfi?
Granít veitir framúrskarandi flatleika, titringsdeyfingu og hitastöðugleika fyrir mjög nákvæm hreyfikerfi.
Hvaða atvinnugreinar nota loftberandi granítpalla?
Hálfleiðara, ljósfræði, mælifræði og nákvæmni sjálfvirkniiðnaðar nota mikið granít loftburðarkerfi.
Getur granít stutt nanómetra-stöðustöðu?
Já. Nákvæmar granítbyggingar eru mikið notaðar í nanómetra-stöðustaðsetningarforritum.






