Hálfleiðaraframleiðsla krefst mjög mikillar nákvæmni.
Nútíma skúffuskoðunarkerfi og hálfleiðaraframleiðslubúnaður starfa oft við míkron eða nanómetra-hæðarvikmörk. Jafnvel lítil hitauppstreymi eða titringur getur haft áhrif á afköst kerfisins.
Af þessum sökum hafa nákvæmni granít vélabotnar orðið nauðsynlegur hluti í hálfleiðarabúnaði.
Af hverju hálfleiðaravélar notaGranítbyggingar
Granít býður upp á nokkra mikilvæga kosti fyrir hálfleiðara forrit:
- Frábær hitastöðugleiki
- Frábær titringsdeyfing
- Langtíma -víddarstöðugleiki
- Ó-segulrænir eiginleikar
- Tæringarþol
Þessir eiginleikar hjálpa hálfleiðarabúnaði við að viðhalda stöðugri staðsetningarnákvæmni.
Varmastöðugleiki í hálfleiðarabúnaði
Framleiðsluumhverfi hálfleiðara krefjast strangrar víddarstýringar.
Nákvæmni granít hefur lágan varmaþenslustuðul, sem hjálpar til við að draga úr aflögun af völdum hitabreytinga.
Dæmigert granít hitauppstreymi:
4,6×10⁻⁶/ gráðu
Þessi stöðugleiki er mikilvægur fyrir:
- Wafer skoðunarkerfi
- Steinþrykk stig
- Hálfleiðara mælifræðibúnaður
- Nákvæm staðsetningarpallar
Flatleiki og staðsetningarnákvæmni
Hálfleiðarakerfi krefjast mjög mikillar flatneskju og hreyfinákvæmni.
Dæmigerð nákvæmni forskriftir eru:
| Parameter | Dæmigert gildi |
|---|---|
| Flatleiki | 2μm/1000mm |
| Hliðstæður | 3μm |
| Yfirborðsfrágangur | Ra 0,4 |
| Stöðugleiki í staðsetningu | Undir-míkrón |
Nákvæmar granítbotnar hjálpa til við að viðhalda stöðugum staðsetningarframmistöðu meðan á stöðugri notkun stendur.
Notkun granítvirkja í hálfleiðaraiðnaði
Granítbyggingar eru mikið notaðar í:
| Umsókn | Virka |
|---|---|
| Wafer skoðunarkerfi | Stöðugur mælipallur |
| Steinþrykkjabúnaður | Stuðningur við nákvæma hreyfingu |
| mælifræðikerfi | Mikil nákvæmni mæling |
| Hálfleiðara stig | Staðsetningaruppbygging hreyfingar |
| Ljósskoðunarbúnaður | Titringseinangrun |
Af hverju að velja UNPARALLELED®
UNPARALLELED® framleiðir granítíhluti af mikilli nákvæmni fyrir hálfleiðara og há-tækniiðnað.
Framleiðslugeta okkar felur í sér:
- Stór granít vinnsla
- Nákvæm slípa og slípa
- Flókin nákvæmni samsetning
- Hálfleiðara-byggingarkerfi
- Ofur nákvæm þolstýring
Granítbyggingar okkar eru notaðar í háþróuðum hálfleiðurum og mælifræðiforritum um allan heim.
Algengar spurningar
Af hverju er granít notað í hálfleiðarabúnað?
Granít veitir hitastöðugleika, titringsdeyfingu og víddarstöðugleika fyrir hánákvæmni hálfleiðarakerfi.
Hvaða flatneskju geta hálfleiðarar granítbotnar náð?
Ofurnákvæmar granítbotnar geta náð míkron-sléttleika eftir notkunarkröfum.
Eru granítbotnar betri en málmbyggingar?
Fyrir mjög nákvæma notkun veitir granít almennt betri hitastöðugleika og titringsdeyfingu en mörg málmvirki.