1. Mikið stífni-til-þyngdarhlutfalls fyrir háhraðavirkni-
Í steinþrykk og tengingu verða íhlutir að hreyfast á miklum hraða með engri töf. Háþróað keramik veitir mikla stífni (High Young's Modulus) á sama tíma og það er verulega léttara en stál. Þetta dregur úr tregðu, gerir kleift að hraða hröðun og hraðaminnkun án þess að skerða staðsetningarnákvæmni í meðhöndlunarkerfum fyrir oblátur.
2. Óviðjafnanleg hitaleiðni og stöðugleiki
Hálfleiðaraferli mynda staðbundinn hita. Efni eins og kísilkarbíð bjóða upp á framúrskarandi hitaleiðni, dreifa hita fljótt til að koma í veg fyrir staðbundna aflögun. Þetta tryggir að keramik lofttæmi chucks og oblátur stigin haldast fullkomlega flatt, viðhalda brenniplaninu á mikilvægum UV útsetningu skrefum.
3. Slitþol og efnatregðu
Keramik er næstum eins hart og demantar. Þessi slitþol tryggir að hreyfanlegir hlutar hafa ótrúlega langan endingartíma án þess að mynda agnir. Ennfremur gerir efnatregðu þeirra þær samhæfðar við sterkar ætarlofttegundir og hreinsiefni sem notuð eru við framhlið-hálfleiðaravinnslu.
Keramik efni samanburður
| Eign | Súrál (Al2O3) | Kísilkarbíð (SiC) |
| Vickers hörku | 1500 HV | 2500+ HV |
| Teygjustuðull | 350 GPa | 450 GPa |
| Thermal Cond. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
Algengar spurningar: Lykilspurningum svarað
Af hverju að nota SiC í stað súráls? SiC hefur meiri stífleika og betri hitaleiðni, þó það sé dýrara.
Eru keramikhlutar viðkvæmir? Þó að þeir séu brothættir er þrýstistyrkur þeirra gríðarlegur, sem gerir þá tilvalin fyrir nákvæmni álag.
Hvaða atvinnugreinar nota þetta keramik? Aðallega hálfleiðara-, geim- og leysiskurðariðnaður.
Getur þú framleitt sérsniðin keramikform? Já, við bjóðum upp á sérsniðna OEM keramikvinnslu fyrir flókna vélræna íhluti.
Hver er hámarksstærð? Við getum framleitt stóra-byggingarhluta úr keramik allt að 1000 mm eða meira með sundri tengingu.
Þarfnast keramik sérstakrar hreinsunar? Þau eru mjög ónæm fyrir kemískum efnum, sem gerir þau mjög auðvelt að þrífa til notkunar í hreinu herbergi.