Eftir því sem öreindatækni minnkar og oblátastærðir stækka hafa kröfurnar sem gerðar eru til línulegra hreyfikerfa náð gríðarlegum stigum. Hefðbundnar vélrænar endurhringrásar-kúlulegustýringar hafa náð líkamlegu takmörkunum. Núningur, bakslag, vélrænt slit og ör-titringur takmarka getu þeirra til að minnka. Sláðu innloftburðarkerfi úr granít-núningslaus hreyfitækni sem parar náttúrulega jarðfræðilega flatleika svarts graníts við þrýstiloftfilmur til að ná nær-fullkominni línulegri hreyfingu.
Hvernig granít loftlegur virka
Loftlager notar þunnt lag af hreinu, þurru lofti sem er undir miklum þrýstingi (venjulega 5 til 10 míkron á þykkt) til að styðja vagninn á hreyfingu fyrir ofan viðmiðunarleiðarbraut. Vegna þess að vagninn svífur bókstaflega á lofti er engin líkamleg snerting á milli hreyfanlegra hluta.
Hins vegar er loftlegur aðeins eins nákvæmur og yfirborðið sem það flýtur á. Ef stýribrautin er ójöfn mun þykkt loftbilsins sveiflast, sem veldur skyndilegum breytingum á loftþrýstingi, sem leiðir til halla eða titrings. Þetta er ástæðan fyrir því að UNPARALLELED® Black Granite er fullkominn samstarfsaðili fyrir loftlegir: það er hægt að véla það og -höndla það með höndunum til undir-míkron flatleika, sem gefur ótrúlega einsleitt, slétt og víddarstöðugt yfirborð fyrir loftfilmuna til að renna yfir.
Helstu kostir granítloftlaga
Núll slit, óendanlegur líftími: Þar sem engin vélræn snerting er, er ekkert líkamlegt slit. Nákvæmni kerfisins er sú sama á degi 1.000 og það gerði á degi 1. Þetta dregur verulega úr viðhaldstíma í 24/7 hreinherbergjum.
Hraða sléttleiki: Vélrænar legur þjást af „cogging“ og veltiviðnámsbreytingum. Loftlegur bjóða upp á alveg slétta, núningslausa hreyfingu, sem gerir kleift að stjórna mjög stöðugri undir-nanómetra hraðastýringu.
Gríðarleg staðsetningarnákvæmni: Ásamt línulegum mótorum og sjónkóðarum með -upplausn, geta loftburðarþrep náð undir-nómetra staðsetningarendurtekningarhæfni, sem er nauðsynlegt fyrir EUV (Extreme Ultraviolet) lithography og háþróaða sjónskoðun.
Engin smurning krafist: Hefðbundnar legur krefjast fitu eða olíu, sem getur losað sig við og mengað lofttæmishólf eða sjónlinsur. Loftlegur ganga fyrir hreinu lofti, sem gerir þær fullkomlega -samhæfar við hrein herbergi.
Kastljós umsóknar: Skoðun á hálfleiðara oblátu
Í hálfleiðaraskífuskoðun (AOI/X-RAY) verða myndavélar að skanna oblátur sem hreyfast á miklum hraða en viðhalda fullkominni brennivídd. Jafnvel lítill lóðréttur titringur getur gert myndina óskýra. Loftburðarvagn sem keyrir á ofur-flatri granítstýribraut tryggir að lóðrétt frávik (halli, veltingur og yaw) haldist nánast ekkert-, sem gerir mikla-afköst, villulausa-gæðastýringu.
Fyrirspurnarleiðbeiningar: Sérsniðnar loftlagar- krefjast mjög samræmdra vélrænna vikmarka. Þegar óskað er eftir tilboði ættu verkfræðingar að tilgreina farmþyngd, markmiðshröðun og umhverfisbreytur (tómarúm á móti andrúmslofti) til að tryggja að granítbyggingin og loftstútarnir séu hönnuð sem ein, samfelld eining.