Mikilvægt hlutverk loftlaganna í hreyfistýringu á nanóskala

Vélræn snerting er óvinur nanómetra nákvæmni. Loftlegir á nákvæmni granít- eða keramikstýringum koma í veg fyrir núning, slit og titring. Með dæmigerðri flugu-hæð upp á 5-10 μm og núningshreyfingu-, gera þessi kerfi 10 nm upplausnina sem þarf fyrir háþróaða hálfleiðaralitógrafíu og háþróaða mælifræði.

1. Að útrýma núningi: Leiðin til óendanlegs vélræns lífs

Vegna þess að það er engin líkamleg snerting á milli hreyfanlegra hluta, slitna ekki loftburðarkerfi. Þetta tryggir að upphafleg kvörðun skönnunarstigs haldist í gildi í mörg ár. Í mikilli-vinnulotu eins og skönnun á skífum, dregur þetta „óendanlega líf“ úr viðhaldskostnaði og útilokar þörfina fyrir smurningu, sem er nauðsynlegt til að uppfylla kröfur um hreinherbergi.

2. Að ná undir-míkronbeinleika á löngum ferðasviðum

When an air bearing glides over a DIN 876 Grade 000 granite guide, it averages out the microscopic surface irregularities. This "averaging effect" results in motion straightness that is often superior to the physical guide itself. For long-travel applications (>1000 mm), þetta gerir ráð fyrir stöðugu hreyfisniði með lágmarks hornskekkjum (halla, velta, gei).

3. Titringseinangrun og slétt hreyfing

Vélrænar legur (kúlur eða rúllur) mynda „endurhringingarhljóð“ sem truflar viðkvæmar mælingar. Loftlegur starfa á þunnri filmu af þrýstilofti, sem gefur náttúrulega titringsdempandi áhrif. Þetta leiðir af sér ofur-mjúkri hreyfingu með hverfandi hraðagára, sem er mikilvægt fyrir há-upplausnarmyndatöku og nanómetra- yfirborðssnið.

4. Hvers vegna eru granít og keramik nauðsynleg undirlag fyrir loft?

Afköst loftlegs eru algjörlega háð gæðum yfirborðsins sem það svífur á. Jinan svart granít og tæknikeramik veita mikla flatleika og hitastöðugleika sem þarf til að viðhalda stöðugu 5 μm loftbili. Sérhver varmavinding á undirlaginu myndi hrynja leguna, sem gerir efnisval að mikilvægustu verkfræðilegu ákvörðuninni.

5. Sameining: Sameinar loftlegir með línulegum mótorum

Til að ná háhraða-nómælisstaðsetningu samþættum við járnlausa línulega mótora með loftlegustigum. Þessi samsetning útilokar „kveiki“ og segulmagnaðir aðdráttarkraftar, sem gefur hreinustu mögulegu hreyfingu. Hjá UNPARALLELED útvegum við fullkomna vélræna samsetninguna, þar á meðal granítbotninn, loftburðarpakkana og mótorfestingartengi.

Air Bearings vs Mechanical Linear Guides

Algengar spurningar: Loftburðartækni

Q1: Hvað gerist ef loftstreymi bilar?

A: Við notum neyðarlendingarfleti eða „harð-húðuð“ keramikviðmót til að koma í veg fyrir skemmdir. Við mælum einnig með þrýstiskynjara sem kveikja á neyðarstöðvun og virkja vélrænar bremsur ef loftþrýstingur fer niður fyrir mikilvæga þröskuld.

Spurning 2: Hvaða loftgæði eru nauðsynleg fyrir þessar legur?

Svar: Loftið verður að vera síað, þurrt og olíulaust-. Við tilgreinum venjulega ISO 8573-1 Class 1.4.1 loftgæði til að tryggja að engar agnir eða raki stífli undirmíkrónaop loftburðarpúka.

Q3: Geta loftlegir unnið í lofttæmi?

A: Já, en þeir krefjast tómarúms-forhlaðinnar hönnunar eða sérhæfðra þéttinga með mismunandi dælu til að koma í veg fyrir að loft leki inn í lofttæmishólfið. Þetta er algengt í háþróuðum EUV hálfleiðurum.

Q4: Hvernig höndla loftlegir mikið álag?

A: Með því að auka yfirborðsflatarmál burðarpökkanna og loftþrýstinginn (venjulega 0,5-0,6 MPa), getum við borið álag á bilinu frá nokkrum grömmum til nokkurra tonna með sömu núningslausu frammistöðu.

Q5: Er erfitt að setja upp loftburðarstig?

A: Þeir þurfa nákvæma röðun og mjög flatt viðmiðunaryfirborð. Þetta er ástæðan fyrir því að UNPARALLELED veitir loftlegunum venjulega for-forsettar og prófaðar á nákvæmni granítbotnunum okkar til að tryggja „út-úr--boxinu.

Q6: Hver er helsti kosturinn fyrir CMM framleiðendur?

A: Hraði og nákvæmni. Loftlegir leyfa CMM rannsakanum að hreyfast mun hraðar án þess að valda titringi, sem leiðir til hraðari skoðunarlota og meiri nákvæmni fyrir flóknar rúmfræði sem finnast í nútíma flugvélum.