Hálfleiðarabúnaður er háður fleiru en línulegum mótorum, kóðara, ljósfræði og stýrihugbúnaði. Undirstaða vélarinnar er ekki síður mikilvæg. Það kemur á fót viðmiðunarbyggingu undir hreyfikerfinu, oblátastigi, skoðunareiningu eða mælifræðisamstæðu. Ef sú tilvísun breytist með hita, titringi, tæringu eða tíma getur frammistaðan á vinnslustaðnum haft áhrif.
Granít og steypujárnvélagrunnareru bæði staðfest verkfræðival. Hvorugt efnið er almennt „best“. Rétt val fer eftir nauðsynlegri nákvæmni, álagsleið, rekstrarumhverfi, samþættingaraðferð, kostnaðarmarkmiðum og endingartíma sem búist er við af búnaðinum. Fyrir hálfleiðarabúnað eru þessi sjónarmið hins vegar oft ívilnandi fyrir nákvæmni granít vélagrunna þar sem langtíma -geómetrísk stöðugleiki og umhverfiseinangrun eru mikilvæg.
Hvers vegna vélagrunnurinn skiptir máli
Í hálfleiðaraframleiðslu geta litlar byggingarbreytingar orðið þýðingarmiklar. Grunnur sem stækkar ójafnt, sendir frá sér gólftitring eða færist til eftir uppsetningu getur haft áhrif á sviðsréttleika, sjónræna röðun, staðsetningu obláta og endurtekningarhæfni.
Þetta á sérstaklega við um oblátaskoðunarkerfi, AOI búnað, mælifræðipalla, leysivinnslubúnað, PCB borvélar, nákvæmni húðunarkerfi og CMM-skoðunarsamstæður. Nauðsynleg frammistaða ræðst ekki af grunnefninu einu saman, heldur gefur grunnurinn þá vélrænu viðmiðun sem restin af kerfinu er háð.
Góður vélagrunnur verður að styðja við nokkrar aðgerðir í einu:
Haltu flatleika og jöfnun meðan á samsetningu stendur.
Veittu stífleika meðfram hreyfingu og álagsleiðum.
Takmarkaðu áhrif titrings á viðkvæm ferli.
Stjórnaðu hitauppstreymi yfir vinnuumslagið.
Samþykkja innlegg, teina, loftlegir, kapalrásir og önnur hagnýt tengi.
Vertu stöðugur við flutning, uppsetningu og langtíma-rekstur.
Granít vélabotnar: Stöðugleiki og dempun
Nákvæmnisgranít er mikið notað í mælifræði og hálfleiðarabúnaði vegna þess að það sameinar mikinn massa, náttúrulega dempun, lága hitaleiðni og ó-segulfræðilega hegðun. Þessir eiginleikar gera granít sérstaklega hentugt fyrir mannvirki sem bera nákvæmar stýribrautir, loftlegir, sjóneiningar eða skoðunarkerfi.
Granít vélargrunnur getur tekið titring á skilvirkari hátt en mörg hefðbundin málmbygging. Í hagnýtri búnaðarhönnun getur þetta hjálpað til við að draga úr flutningi á titringi af mótor-, gólftruflunum og kraftmikilli örvun inn á mælingar- eða vinnslusvæðið. Niðurstaðan er ekki sjálfkrafa betri nákvæmni; heildarhönnun vélarinnar skiptir enn máli. Samt er titringsdeyfing þýðingarmikill kostur þegar verkfræðingar vinna með hreyfi- og mælikerfi með mikilli-upplausn.
Hitahegðun er annað stórt atriði. Granít hefur almennt lægri varmaþenslustuðul en steypujárn og tiltölulega lág varmaleiðni þess getur hægt á flutningi staðbundins hita í gegnum uppbygginguna. Þetta er gagnlegt þegar vél starfar nálægt mótorum, lýsingu, rafeindatækni eða vinnslueiningum sem skapa ójafnt hitainntak. Granít er einnig algengt val fyrir há-nákvæmni hreyfikerfi vegna þess að samþætt hönnun getur dregið úr viðmóti íhluta, aukið stífleika og hjálpað til við að draga úr Abbe-villum í sumum fjölása stillingum.pi-usa
Granít er ekki-leiðandi og ekki-segulmagnaðir. Fyrir hálfleiðara- og mælifræðiforrit sem fela í sér viðkvæma skynjara, segulkóðara, rafkerfi eða efnafræðilega útsetningu geta þessir eiginleikar einfaldað ákveðnar hönnunarákvarðanir. Granít ryðgar heldur ekki, sem dregur úr viðhaldsáhyggjum í röku umhverfi eða aðstöðu þar sem efnaleifar geta verið til staðar.
Steypujárnsvélabotnar: Sterk samþættingargeta
Steypujárn er enn sannað efni fyrir vélbúnað og þungan-búnað. Styrkur þess liggur í framleiðni, sterkum snittum, flókinni steypurúmfræði og kunnuglegum vinnsluferlum. Hönnuðir geta samþætt rifbein, kælivökvagöngur, uppsetningarbrúsa og lokuð holrúm beint í steypu.
Fyrir búnað sem krefst tíðra vélrænna breytinga, mikið staðbundið festingarálag eða mikið magn af véluðum uppsetningareiginleikum, getur steypujárn verið hagnýtur valkostur. Það hentar líka vel fyrir hefðbundnar vinnslustöðvar, skurðarvélar og forrit þar sem stífni og burðarvirki hafa forgang fram yfir ofur-lágt hitastig.
Steypujárn hefur sína eigin dempandi eiginleika, sérstaklega í samanburði við soðið stálframleiðslu. Samt sem áður er það hitaviðkvæmara en granít og gæti þurft meiri athygli á hitastýringu, streitulosun, húðun og tæringarvörn. Efnið er leiðandi og segulmagnaðir, sem skiptir kannski ekki máli, allt eftir arkitektúr vélarinnar.
Spurningin er ekki hvort steypujárn sé nógu nákvæmt. Margar mjög færar nákvæmnisvélar nota steypujárn með góðum árangri. Lykilspurningin er hvort varmahegðun þess og byggingareiginleikar passi við nauðsynlegan hálfleiðaraferlisglugga.
Granít gegn steypujárni í hnotskurn
| Valstuðull | Nákvæm granít vélagrunnur | Vélarbotn úr steypujárni |
|---|---|---|
| Hitasvörun | Almennt minni stækkun og hægari hitaflutningur | Viðkvæmari fyrir umhverfis- og staðbundnum hitabreytingum |
| Titringshegðun | Sterk innbyggð raki, sérstaklega fyrir mælifræðimannvirki | Góð dempun, en venjulega meira háð rúmfræði og vélhönnun |
| Tæringarþol | Náttúrulega tæringarþolið | Krefst húðunar eða viðhalds til að koma í veg fyrir ryð |
| Rafmagns og segulmagnaðir eiginleikar | Ekki-leiðandi og ekki-segulmagnaðir | Leiðandi og segulmagnaðir |
| Virk samþætting | Innskot, tengdar samsetningar, loft-burðarfletir og nákvæm-viðmót | Kastaðu inn- rifbeinum, bolum, göngum og snittum |
| Besta passa | Hálfleiðari, mælifræði, ljósfræði, nákvæmni sjálfvirkni | Vélar, þung-skyld kerfi, flókin steypt mannvirki |
Velja fyrir hálfleiðarabúnað
Fyrir hálfleiðarabúnað ætti efnisval að byrja með nauðsynlegum ferliframmistöðu frekar en vali fyrir granít eða málm. Verkfræðingar ættu að skilgreina leyfilegt hitastig, titringsróf, álagsskilyrði, ferðasvið, umhverfisaðstæður og samþættingarkröfur áður en grunnur er valinn.
Granít er oft sterkur möguleiki þegar búnaðurinn krefst stöðugs viðmiðunarvettvangs fyrir nákvæmni mælingar, meðhöndlun obláta, loftlagshreyfingar, sjónskoðunar eða langar ferðaása. Iðnaðarbirgjar nota almennt nákvæmnisgranít í hálfleiðaraframleiðslu, sjálfvirkni og skoðunarkerfi með mikilli-nákvæmni vegna lítillar stækkunar, rakahegðun, efnaþols og ör-vinnsluhæfni.reitz-natursteintechnik
Steypujárn getur verið betri kosturinn þegar burðargetufræði er mjög flókin, þegar samþættir vélrænir eiginleikar ráða yfir hönnuninni eða þegar hægt er að viðhalda nauðsynlegri nákvæmni með hitastjórnun og kvörðun.
Í hagnýtri vinnu okkar með nákvæma granítíhluti eru árangursríkustu verkefnin yfirleitt þau þar sem grunnurinn er talinn snemma á vélhönnunarstigi-. Skilgreina skal innsetningarstaðsetningar, járnbrautarviðmót, samsetningarupplýsingar, lyftipunkta, hreinsherbergiskröfur og skoðunaraðferðir áður en framleiðsla hefst. Þetta gerir granítbyggingunni, málmviðmótunum og hreyfikerfinu kleift að virka sem ein stýrð samsetning-ekki sem aðskildir hlutar sem þvingaðir eru saman á lokastigi.
Fyrir hálfleiðarabúnað er besta efnið því það sem styður fulla nákvæmni fjárhagsáætlun. Í mörgum forritum sem beinast að mjög-nákvæmni og mælifræði-, býður nákvæmur granítvélagrunnur upp á endingargóðan og stöðugan grunn. Í öðrum er steypujárn áfram skynsamleg verkfræðileg lausn. Ákvörðunin ætti að vera tekin út frá mældum kröfum, ekki efnislegu orðspori eingöngu.